SOI Wafers

Deskripsyon kout:

Wafer SOI a se yon estrikti ki tankou sandwich ak twa kouch;Ki gen ladan kouch nan tèt (kouch aparèy), mitan an nan kouch oksijèn la antere l '(pou kouch nan posibilite SiO2) ak substra anba a (en Silisyòm).Wafers SOI yo pwodui lè l sèvi avèk metòd SIMOX ak teknoloji lyezon wafer, ki pèmèt kouch aparèy mens ak pi egzak, epesè inifòm ak dansite defo ki ba.


Pwodwi detay

Tags pwodwi

SOI Wafers(1)

Jaden aplikasyon

1. High-vitès sikwi entegre

2. Mikwo ond aparèy

3. Segondè sikwi entegre tanperati

4. Aparèy pouvwa

5. Ba pouvwa sikwi entegre

6. MEMS

7. Low vòltaj entegre kous

Atik

Agiman

An jeneral

Wafer Dyamèt
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Banza/Deformation
翘曲度(

<10um

Patikil
颗粒度(

0.3um <30ea

Apatman/dan
定位边/定位槽

Flat oswa Notch

Eksklizyon Edge
边缘去除(mm)

/

Kouch Aparèy
器件层

Aparèy-kouch Kalite/Dopant
器件层掺杂类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / As

Aparèy-kouch Oryantasyon
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Aparèy-kouch Epesè
器件层厚度(um)

0.1 ~ 300um

Aparèy-kouch rezistivite
器件层电阻率(ohm•cm)

0.001 ~ 100,000 ohm-cm

Aparèy-kouch Patikil
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Aparèy Kouch TTV
器件层TTV(

<10um

Kouch Aparèy Fini
器件层表面处理

Poli

BOX

Antre epesè oksid tèmik
埋氧层厚度(um)

50nm (500Å) ~ 15um

Manch kouch
衬底

Manch Wafer Kalite / Dopant
衬底层类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / As

Manch Wafer Oryantasyon
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Manch Wafer rezistivite
衬底电阻率(ohm•cm)

0.001 ~ 100,000 ohm-cm

Manch Wafer epesè
衬底厚度(um)

> 100um

Manch Wafer Fini
衬底表面处理

Poli

Kafe SOI nan espesifikasyon sib yo ka Customized selon kondisyon kliyan yo.

Semicera Workplace Kote travay semisera 2

Ekipman machinCNN pwosesis, netwayaj chimik, kouch CVD

Sèvis nou an


  • Previous:
  • Pwochen: