Silisyòm Carbide Substrates|SiC Wafers

Deskripsyon kout:

Semicera Enèji Teknoloji co, Ltd se yon founisè dirijan ki espesyalize nan wafer ak avanse semiconductor consommables. Nou dedye a bay bon jan kalite, fyab, ak pwodwi inovatè nan fabrikasyon semi-conducteurs, endistri fotovoltaik ak lòt jaden ki gen rapò.

Liy pwodwi nou an gen ladan pwodwi SiC / TaC kouvwi grafit ak pwodwi seramik, ki kouvri divès kalite materyèl tankou carbure Silisyòm, nitrure Silisyòm, ak oksid aliminyòm ak elatriye.

Kounye a, nou se sèl manifakti ki bay pite 99.9999% SiC kouch ak 99.9% rekristalize carbure Silisyòm. Max SiC kouch longè nou ka fè 2640mm.

 

Pwodwi detay

Tags pwodwi

SiC-gaflèt

Silisyòm carbure (SiC) yon sèl kristal materyèl gen yon gwo band gap lajè (~Si 3 fwa), segondè konduktiviti tèmik (~Si 3.3 fwa oswa GaAs 10 fwa), gwo pousantaj migrasyon elèktron saturation (~Si 2.5 fwa), segondè pann elektrik. jaden (~ Si 10 fwa oswa GaAs 5 fwa) ak lòt karakteristik eksepsyonèl.

Aparèy SiC yo gen avantaj iranplasabl nan domèn tanperati ki wo, presyon ki wo, frekans segondè, aparèy elektwonik gwo pouvwa ak aplikasyon pou anviwònman ekstrèm tankou ayewospasyal, militè, enèji nikleyè, elatriye, fè moute pou domaj yo nan aparèy tradisyonèl semi-conducteurs materyèl nan pratik. aplikasyon yo, epi yo piti piti vin endikap nan semi-conducteurs pouvwa.

4H-SiC espesifikasyon substra carbure Silisyòm

Item项目

Spécifications参数

Politip
晶型

4H -SiC

6H- SiC

Dyamèt
晶圆直径

2 pous | 3 pous | 4 pous | 6 pous

2 pous | 3 pous | 4 pous | 6 pous

Epesè
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Konduktivite
导电类型

N - kalite / Semi-izolasyon
N型导电片/ 半绝缘片

N - kalite / Semi-izolasyon
N型导电片/ 半绝缘片

Dopan
掺杂剂

N2 ( Azòt ) V ( Vanadyòm )

N2 ( Azòt ) V ( Vanadyòm )

Oryantasyon
晶向

Sou aks <0001>
Off aks <0001> koupe 4°

Sou aks <0001>
Off aks <0001> koupe 4°

Rezistivite
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Dansite Micropipe (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Banza / Chaîne
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Sifas
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Klas
产品等级

Pwodiksyon / klas rechèch

Pwodiksyon / klas rechèch

Crystal anpile sekans
堆积方式

ABCB

ABCABC

Paramèt lasi
晶格参数

a=3.076A, c=10.053A

a = 3.073A, c = 15.117A

Eg/eV(Band-gap)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε (Dyelèktrik konstan)
介电常数

9.6

9.66

Endèks refraksyon
折射率

n0 = 2.719 ne = 2.777

n0 = 2,707, ne = 2,755

6H-SiC Silisyòm Carbide substra espesifikasyon

Item项目

Spécifications参数

Politip
晶型

6H-SiC

Dyamèt
晶圆直径

4 pous | 6 pous

Epesè
厚度

350μm ~ 450μm

Konduktivite
导电类型

N - kalite / Semi-izolasyon
N型导电片/ 半绝缘片

Dopan
掺杂剂

N2 (Azòt)
V ( Vanadyòm )

Oryantasyon
晶向

<0001> koupe 4°± 0.5°

Rezistivite
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N Kalite)

Dansite Micropipe (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Banza / Chaîne
翘曲度

≤25 μm

Sifas
表面处理

Si Face: CMP, Epi-Ready
C fas: optik Polonè

Klas
产品等级

Rechèch klas

Semicera Workplace Kote travay semisera 2 Ekipman machin CNN pwosesis, netwayaj chimik, kouch CVD Sèvis nou an


  • Previous:
  • Pwochen: