Kòm youn nan eleman debaz yo nanMOCVD ekipman, baz grafit se konpayi asirans lan ak kò chofaj nan substra a, ki dirèkteman detèmine inifòmite a ak pite nan materyèl la fim, se konsa bon jan kalite li yo dirèkteman afekte preparasyon an nan fèy la epitaxial, ak an menm tan an, ak ogmantasyon nan kantite a nan itilizasyon ak chanjman nan kondisyon travay, li trè fasil yo mete, ki fè pati consommables yo.
Malgre ke grafit gen ekselan konduktiviti tèmik ak estabilite, li gen yon bon avantaj kòm yon eleman baz nanMOCVD ekipman, men nan pwosesis pwodiksyon an, grafit pral korode poud lan akòz rezidi gaz korozif ak òganik metalik, epi lavi sèvis baz grafit la ap redwi anpil.An menm tan an, poud grafit tonbe a pral lakòz polisyon nan chip la.
Aparisyon nan teknoloji kouch ka bay fiksasyon poud sifas, amelyore konduktiviti tèmik, ak egalize distribisyon chalè, ki te vin teknoloji prensipal la pou rezoud pwoblèm sa a.Graphite baz nanMOCVD ekipmanSèvi ak anviwònman an, kouch sifas baz grafit ta dwe satisfè karakteristik sa yo:
(1) baz grafit la ka konplètman vlope, ak dansite a bon, otreman baz grafit la fasil pou korode nan gaz korozif la.
(2) Fòs konbinezon ak baz grafit la wo pou asire ke kouch la pa fasil pou tonbe apre plizyè sik tanperati ki wo ak tanperati ki ba.
(3) Li gen bon estabilite chimik pou fè pou evite echèk kouch nan tanperati ki wo ak atmosfè korozivite.
SiC gen avantaj ki genyen nan rezistans korozyon, segondè konduktiviti tèmik, rezistans chòk tèmik ak estabilite chimik segondè, epi li ka travay byen nan atmosfè epitaxial GaN.Anplis de sa, koyefisyan ekspansyon tèmik nan SiC diferan anpil ak sa yo ki an grafit, kidonk SiC se materyèl la pi pito pou kouch sifas la nan baz grafit.
Kounye a, SiC komen an se sitou 3C, 4H ak 6H kalite, ak itilizasyon SiC diferan kalite kristal yo diferan.Pou egzanp, 4H-SiC ka fabrike aparèy ki gen gwo pouvwa;6H-SiC se pi estab la epi li ka fabrike aparèy foto-elektrik;Akòz estrikti ki sanble ak GaN, 3C-SiC ka itilize pou pwodwi kouch epitaksi GaN ak fabrike aparèy SiC-GaN RF.3C-SiC se tou souvan ke yo rekonèt kòmβ-SiC, ak yon itilizasyon enpòtan nanβ-SiC se kòm yon fim ak materyèl kouch, se konsaβ-SiC se kounye a materyèl prensipal la pou kouch.
Tan pòs: Nov-06-2023