Segondè pite SiC Carrier/Susceptor

Deskripsyon kout:

Silisyòm carbure kote yo pote disk ke yo rele tou SIC plato, silikon carbure grave disk, ICP grave disk.Silisyòm carbure plato pou dirije grave (SiC plato) φ600mm se yon akseswar espesyal pou gwo twou san fon Silisyòm grave (ICP grave machin).

Voye imèl ba nou

Pwodwi detay

Tags pwodwi

Deskripsyon

Seramik carbure Silisyòm gen ekselan pwopriyete mekanik nan tanperati chanm, tankou gwo fòs, segondè dite, segondè modil elastik, elatriye, li tou gen ekselan estabilite segondè-tanperati tankou konduktiviti segondè tèmik, ba koyefisyan ekspansyon tèmik, ak bon rèd espesifik ak optik. pèfòmans pwosesis.
Yo espesyalman apwopriye pou pwodwi presizyon pati seramik pou ekipman sikwi entegre tankou machin litografi, sitou itilize pou fabrike konpayi asirans SiC/susceptor, bato wafer SiC, souse disk, plak refwadisman dlo, reflektè mezire presizyon, griyaj ak lòt pati estriktirèl seramik.

konpayi asirans 2

konpayi asirans 3

konpayi asirans 4

Avantaj

Rezistans tanperati ki wo: itilizasyon nòmal nan 1800 ℃
Segondè konduktiviti tèmik: ekivalan a materyèl grafit
Segondè dite: dite dezyèm sèlman nan dyaman, nitrure bor
Rezistans korozyon: asid fò ak alkali pa gen okenn korozyon nan li, rezistans korozyon an pi bon pase carbure tengstèn ak alumina.
Limyè pwa: dansite ki ba, fèmen nan aliminyòm
Pa gen deformation: ba koyefisyan ekspansyon tèmik
Rezistans chòk tèmik: li ka kenbe tèt ak chanjman tanperati byen file, reziste chòk tèmik, epi li gen pèfòmans ki estab.
Silisyòm carbure konpayi asirans tankou sic grave konpayi asirans, ICP grave susceptor, yo lajman ki itilize nan semi-conducteurs CVD, vakyòm sputtering elatriye Nou ka bay kliyan ak transpòtè wafer Customized nan Silisyòm ak materyèl carbure Silisyòm satisfè aplikasyon diferan.

Avantaj

Pwopriyete	Valè	Metòd
Dansite	3.21 g/cc	Lavabo-flote ak dimansyon
Chalè espesifik	0.66 J/g °K	Enpulsyon lazè flash
Fòs flexural	450 MPa560 MPa	4 pwen pliye, RT4 pwen pliye, 1300 °
Severite frakti	2.94 MPa m1/2	Microindentation
Dite	2800	Vicker a, 500g chaj
Modil elastik Modil Young la	450 GPa 430 GPa	4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Gwosè grenn	2-10 µm	SEM

Konpayi Profile

WeiTai Enèji Teknoloji co, Ltd se yon founisè dirijan nan seramik semi-conducteurs avanse ak manifakti a sèlman nan Lachin ki ka ansanm bay segondè-pite Silisyòm carbure seramik (espesyalman SiC a rkristalize) ak kouch CVD SiC.Anplis de sa, konpayi nou an angaje tou nan jaden seramik tankou alumina, nitrure aliminyòm, zirkonya, ak nitrure Silisyòm, elatriye.

Pwodwi prensipal nou yo ki gen ladan: Silisyòm carbure grave disk, Silisyòm carbure bato remorquage, Silisyòm carbure wafer bato (Photovoltaic & Semiconductor), Silisyòm carbure tib founo, Silisyòm carbure cantilever pagay, Silisyòm carbure mandrin, travès carbure Silisyòm, osi byen ke CVD SiC kouch la ak TaC kouch.Pwodwi yo sitou itilize nan endistri semi-conducteurs ak fotovoltaik, tankou ekipman pou kwasans kristal, epitaksi, grave, anbalaj, kouch ak founo difizyon, elatriye.
sou (2)