Epitaksi ki ap dirije ble/vèt ki soti nan semisera ofri solisyon dènye kri pou manifakti ki ap dirije segondè-pèfòmans. Ki fèt pou sipòte pwosesis kwasans epitaksi avanse, teknoloji epitaksi ble/vèt semicera a amelyore efikasite ak presizyon nan pwodwi LED ble ak vèt, kritik pou divès aplikasyon optoelektwonik. Sèvi ak eta-of-atizay Si Epitaxy ak SiC Epitaxy, solisyon sa a asire bon jan kalite ekselan ak rezistans.
Nan pwosesis fabrikasyon an, MOCVD Susceptor jwe yon wòl enpòtan, ansanm ak eleman tankou PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, ak RTP Carrier, ki optimize anviwònman kwasans epitaxial la. Epitaksi LED ble/vèt Semicera a fèt pou bay sipò ki estab pou LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor, ak Monocrystalline Silisyòm, pou asire pwodiksyon rezilta ki konsistan ak kalite siperyè.
Pwosesis epitaksi sa a enpòtan anpil pou kreye Pati fotovoltaik ak sipòte aplikasyon tankou GaN sou SiC Epitaxy, amelyore efikasite jeneral semi-conducteurs. Kit nan yon konfigirasyon Pancake Susceptor oswa yo itilize nan lòt konfigirasyon avanse, solisyon epitaksi ki ap dirije ble/vèt semicera yo ofri pèfòmans serye, ede manifaktirè yo satisfè demann k ap grandi pou konpozan ki ap dirije kalite siperyè.
Karakteristik prensipal yo:
1. Rezistans oksidasyon tanperati ki wo:
rezistans oksidasyon an toujou trè bon lè tanperati a wo tankou 1600 C.
2. Segondè pite: fèt pa depo vapè chimik anba kondisyon klorinasyon tanperati ki wo.
3. Rezistans ewozyon: segondè dite, sifas kontra enfòmèl ant, patikil amann.
4. Rezistans korozyon: asid, alkali, sèl ak reyaktif òganik.
Espesifikasyon prensipal nanKouch CVD-SIC
| Pwopriyete SiC-CVD | ||
| Crystal Estrikti | FCC β faz | |
| Dansite | g/cm³ | 3.21 |
| Dite | Vickers dite | 2500 |
| Gwosè grenn | μm | 2 ~ 10 |
| Pite chimik | % | 99.99995 |
| Kapasite Chalè | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Tanperati sublimasyon | ℃ | 2700 |
| Flèsural fòs | MPa (RT 4-pwen) | 415 |
| Modil Young la | Gpa (4pt koube, 1300 ℃) | 430 |
| Ekspansyon tèmik (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Konduktivite tèmik | (W/mK) | 300 |
