4 pous N-tip SiC substrats Semicera yo fabrike pou satisfè nòm egzak endistri semi-conducteurs. Substra sa yo bay yon fondasyon pèfòmans-wo pou yon pakèt aplikasyon elektwonik, ofri konduktiviti eksepsyonèl ak pwopriyete tèmik.
Dopaj N-kalite substrats SiC sa yo amelyore konduktiviti elektrik yo, ki fè yo patikilyèman apwopriye pou aplikasyon pou gwo pouvwa ak segondè-frekans. Pwopriyete sa a pèmèt operasyon efikas nan aparèy tankou dyod, tranzistò, ak anplifikatè, kote minimize pèt enèji enpòtan.
Semicera itilize pwosesis fabrikasyon dènye modèl yo pou asire ke chak substra montre bon jan kalite sifas ekselan ak inifòmite. Precision sa a enpòtan anpil pou aplikasyon pou elektwonik pouvwa, aparèy mikwo ond, ak lòt teknoloji ki mande pèfòmans serye nan kondisyon ekstrèm.
Enkòpore substrats SiC N-tip Semicera a nan liy pwodiksyon ou vle di benefisye de materyèl ki ofri siperyè chalè dissipation ak estabilite elektrik. Substra sa yo ideyal pou kreye konpozan ki mande pou rezistans ak efikasite, tankou sistèm konvèsyon pouvwa ak anplifikatè RF.
Lè w chwazi 4 pous N-tip SiC substrats Semicera a, w ap envesti nan yon pwodwi ki konbine syans materyèl inovatè ak atizanal metikuleu. Semicera kontinye ap dirije endistri a lè li bay solisyon ki sipòte devlopman teknoloji semi-conducteurs dènye kri, asire pèfòmans segondè ak fyab.
Atik | Pwodiksyon | Rechèch | Enbesil |
Crystal Paramèt | |||
Politip | 4H | ||
Erè oryantasyon sifas | <11-20 > 4±0.15° | ||
Paramèt elektrik | |||
Dopan | n-tip Azòt | ||
Rezistivite | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramèt mekanik | |||
Dyamèt | 150.0±0.2mm | ||
Epesè | 350±25 μm | ||
Oryantasyon prensipal plat | [1-100]±5° | ||
Longè plat prensipal | 47.5±1.5mm | ||
Segondè plat | Okenn | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Defòme | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Devan (Si-fas) brutality (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Estrikti | |||
Dansite Micropipe | <1 chak/cm2 | <10 chak/cm2 | <15 chak/cm2 |
Enpurte metal | ≤5E10atòm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kalite devan | |||
Devan | Si | ||
Sifas fini | Si-fas CMP | ||
Patikil | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
Rayures | ≤5ea/mm. Kimilatif longè ≤Dyamèt | Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA |
Kale zoranj / twou / tach / striasyon / fant / kontaminasyon | Okenn | NA | |
Edge chips / endentasyon / ka zo kase / plak hex | Okenn | ||
Zòn politip yo | Okenn | Zòn kimilatif ≤20% | Zòn kimilatif ≤30% |
Devan lazè make | Okenn | ||
Retounen Kalite | |||
Retounen fini | C-fas CMP | ||
Rayures | ≤5ea/mm, Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA | |
Defo nan do (chips kwen / endentasyon) | Okenn | ||
Retounen brutality | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Retounen make lazè | 1 mm (soti nan kwen anwo) | ||
Edge | |||
Edge | Chanfrein | ||
Anbalaj | |||
Anbalaj | Epi-pare ak anbalaj vakyòm Anbalaj kasèt milti-wafer | ||
*Nòt: "NA" vle di pa gen okenn demann. Atik ki pa mansyone yo ka refere a SEMI-STD. |