Tantal carbure kouvwi plak sipò susceptorse yon susceptor oswa estrikti sipò ki kouvri ak yon kouch mens nancarbure tantal. Kouch sa a ka fòme sou sifas susceptor pa teknik tankou depo vapè fizik (PVD) oswa depo vapè chimik (CVD), bay susceptor pwopriyete siperyè yo nancarbure tantal.
Semicera bay penti espesyalize carbure Tantal (TaC) pou divès konpozan ak transpòtè.Pwosesis kouch dirijan Semicera pèmèt kouch carbure Tantal (TaC) reyalize pite segondè, estabilite tanperati ki wo ak tolerans chimik segondè, amelyore kalite pwodwi nan kristal SIC / GAN ak kouch EPI (Graphite kouvwi TaC susceptor), ak pwolonje lavi a nan eleman kle raktor yo. Itilizasyon Tantal carbure TaC kouch se rezoud pwoblèm nan kwen ak amelyore kalite kwasans kristal, ak Semicera te zouti rezoud teknoloji a kouch carbure Tantal (CVD), rive nan nivo entènasyonal avanse.
Apre ane nan devlopman, Semicera te konkeri teknoloji a nanCVD TaCak efò yo jwenti nan depatman an R & D. Defo yo fasil pou rive nan pwosesis kwasans lan nan gaufre SiC, men apre yo fin itilizeTaC, diferans lan enpòtan. Anba la a se yon konparezon nan wafers ak ak san TaC, osi byen ke pati Simicera 'pou kwasans yon sèl kristal.
Karakteristik prensipal yo nan plak sipò carbure Tantal kouvwi yo enkli:
1. Estabilite tanperati ki wo: carbure Tantal gen ekselan estabilite tanperati ki wo, ki fè plak sipò baz la kouvwi apwopriye pou bezwen sipò nan anviwònman k ap travay tanperati ki wo.
2. Rezistans korozyon: Kouch carbure Tantal gen bon rezistans korozyon, ka reziste korozyon chimik ak oksidasyon, ak pwolonje lavi sa a ki sèvis nan baz la.
3. Segondè dite ak rezistans mete: dite segondè nan kouch carbure Tantal bay plak sipò baz la bon rezistans mete, ki se apwopriye pou okazyon ki mande rezistans segondè mete.
4. Estabilite chimik: carbure Tantal gen estabilite segondè nan yon varyete sibstans chimik, ki fè plak la sipò kouvwi baz fè byen nan kèk anviwònman korozivite.
ak ak san TaC
Apre w fin itilize TaC (adwat)
Anplis, Semicera aTaC-kouvwi pwodwi yomontre yon lavi sèvis pi long ak pi gwo rezistans tanperati-wo konpare akSiC kouch.Mezi laboratwa yo te demontre ke nouTaC kouchka toujou fè nan tanperati jiska 2300 degre Sèlsiyis pou peryòd pwolonje. Anba a se kèk egzanp echantiyon nou yo:
