Semicera bay penti espesyalize carbure Tantal (TaC) pou divès konpozan ak transpòtè.Pwosesis kouch dirijan Semicera pèmèt kouch carbure Tantal (TaC) reyalize pite segondè, estabilite tanperati ki wo ak tolerans chimik segondè, amelyore kalite pwodwi nan kristal SIC / GAN ak kouch EPI (Graphite kouvwi TaC susceptor), ak pwolonje lavi a nan eleman kle raktor yo. Itilizasyon Tantal carbure TaC kouch se rezoud pwoblèm nan kwen ak amelyore kalite kwasans kristal, ak Semicera te zouti rezoud teknoloji a kouch carbure Tantal (CVD), rive nan nivo entènasyonal avanse.
Tantal carbure kouvwi wafer transpòtè yo lajman ki itilize nan pwosesis wafer ak manyen pwosesis nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs. Yo bay sipò ki estab ak pwoteksyon pou asire sekirite, presizyon ak konsistans wafers pandan pwosesis fabrikasyon an. Kouch carbure Tantal ka pwolonje lavi sèvis konpayi asirans lan, redwi depans yo, ak amelyore kalite ak disponiblite pwodwi semi-conducteurs.
Deskripsyon nan carbure Tantal kouvwi wafer konpayi asirans se jan sa a:
1. Seleksyon materyèl: Carbide Tantal se yon materyèl ki gen pèfòmans ekselan, segondè dite, gwo pwen k ap fonn, rezistans korozyon ak ekselan pwopriyete mekanik, kidonk li se lajman ki itilize nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs.
2. Sifas kouch: Se kouch carbure Tantal aplike sou sifas la nan konpayi asirans wafer atravè yon pwosesis kouch espesyal yo fòme yon kouch inifòm ak dans carbure Tantal. Kouch sa a ka bay plis pwoteksyon ak rezistans mete, pandan y ap gen bon konduktiviti tèmik.
3. Flatness ak presizyon: Tantal carbure kouvwi wafer konpayi asirans gen yon wo degre de flatness ak presizyon, asire estabilite ak presizyon nan wafers pandan pwosesis fabrikasyon an. Flatness ak fini sifas konpayi asirans lan enpòtan pou asire bon jan kalite ak pèfòmans wafer la.
4. Tanperati estabilite: Tantal carbure kouvwi wafer transpòtè ka kenbe estabilite nan anviwònman tanperati ki wo san deformation oswa detachman, asire estabilite ak konsistans nan gauf nan pwosesis tanperati ki wo.
5. Kowozyon rezistans: Tantal carbure kouch gen ekselan rezistans korozyon, ka reziste ewozyon nan pwodwi chimik ak Solvang, epi pwoteje konpayi asirans lan kont korozyon likid ak gaz.
ak ak san TaC
Apre w fin itilize TaC (adwat)
Anplis, Semicera aTaC-kouvwi pwodwi yomontre yon lavi sèvis pi long ak pi gwo rezistans tanperati-wo konpare akSiC kouch.Mezi laboratwa yo te demontre ke nouTaC kouchka toujou fè nan tanperati jiska 2300 degre Sèlsiyis pou peryòd pwolonje. Anba a se kèk egzanp echantiyon nou yo:
