Entwodiksyon nan kouch CVD TaC:
CVD TaC Coating se yon teknoloji ki sèvi ak depo vapè chimik pou depoze kouch carbure Tantal (TaC) sou sifas yon substra. Tantal carbure se yon wo-pèfòmans materyèl seramik ak ekselan pwopriyete mekanik ak chimik. Pwosesis CVD la jenere yon fim inifòm TaC sou sifas substra a atravè reyaksyon gaz.
Karakteristik prensipal yo:
Ekselan dite ak rezistans mete: Carbide Tantal gen dite trè wo, ak kouch CVD TaC ka siyifikativman amelyore rezistans nan mete nan substra a. Sa fè kouch la ideyal pou aplikasyon pou nan anviwònman ki gen anpil mete, tankou zouti koupe ak mwazi.
Estabilite Tanperati segondè: TaC kouch pwoteje eleman kritik gwo founo dife ak reyaktè nan tanperati jiska 2200 ° C, demontre bon estabilite. Li kenbe estabilite chimik ak mekanik nan kondisyon tanperati ekstrèm, ki fè li apwopriye pou pwosesis wo-tanperati ak aplikasyon nan anviwònman tanperati ki wo.
Ekselan estabilite chimik: Carbide Tantal gen gwo rezistans korozyon nan pifò asid ak alkali, ak kouch CVD TaC ka efektivman anpeche domaj nan substra a nan anviwònman korozivite.
Segondè pwen k ap fonn: Carbide Tantal gen yon pwen k ap fonn segondè (apeprè 3880 ° C), sa ki pèmèt CVD TaC Kouch yo dwe itilize nan kondisyon ekstrèm tanperati ki wo san yo pa fonn oswa degrade.
Ekselan konduktiviti tèmik: TaC kouch gen gwo konduktiviti tèmik, ki ede efektivman gaye chalè nan pwosesis tanperati ki wo ak anpeche surchof lokal yo.
Aplikasyon potansyèl yo:
• Nitrure Galyòm (GaN) ak Silisyòm Carbide epitaxial CVD konpozan reyaktè ki gen ladan transpòtè wafer, asyèt satelit, douch, plafon, ak susceptors.
• Silisyòm carbure, nitrure galyòm ak nitrure aliminyòm (AlN) konpozan kwasans kristal ki gen ladan kreze, detantè grenn, bag gid ak filtè.
• Konpozan endistriyèl ki gen ladan eleman chofaj rezistans, bouch piki, bag maskin ak brasaj jig
Karakteristik aplikasyon yo:
• Tanperati ki estab pi wo a 2000 ° C, sa ki pèmèt operasyon nan tanperati ekstrèm
• Rezistan a idwojèn (Hz), amonyak (NH3), monosilane (SiH4) ak Silisyòm (Si), bay pwoteksyon nan anviwònman chimik piman bouk.
• Rezistans chòk tèmik li pèmèt sik opere pi vit
• Graphite gen adezyon fò, asire yon lavi sèvis long epi pa gen okenn delaminasyon kouch.
• Ultra-wo pite pou elimine enpurte ki pa nesesè oswa kontaminan
• Kouvèti kouch konfòme ak tolerans dimansyon sere
Espesifikasyon teknik:
Preparasyon nan penti carbure Tantal dans pa CVD：
TAC kouch ak kristalinite segondè ak inifòmite ekselan:
CVD TAC COATING Paramèt teknik_Semicera:
Pi wo a se valè tipik.
