TaC kouvwi bag gid grafital gade nan depozisyon an nan yon kouch mens nancarbure tantalsou sifas yon bag gid grafit amelyore rezistans mete li yo, rezistans tanperati ki wo ak estabilite chimik. Kouch sa a anjeneral fòme sou sifas yon bag gid grafit pa teknik tankou depo vapè fizik (PVD) oswa depo vapè chimik (CVD).
Semicera bay penti espesyalize carbure Tantal (TaC) pou divès konpozan ak transpòtè.Pwosesis kouch dirijan Semicera pèmèt kouch carbure Tantal (TaC) reyalize pite segondè, estabilite tanperati ki wo ak tolerans chimik segondè, amelyore kalite pwodwi nan kristal SIC / GAN ak kouch EPI (Graphite kouvwi TaC susceptor), ak pwolonje lavi a nan eleman kle raktor yo. Itilizasyon Tantal carbure TaC kouch se rezoud pwoblèm nan kwen ak amelyore kalite kwasans kristal, ak Semicera te zouti rezoud teknoloji a kouch carbure Tantal (CVD), rive nan nivo entènasyonal avanse.
Apre ane nan devlopman, Semicera te konkeri teknoloji a nanCVD TaCak efò yo jwenti nan depatman an R & D. Defo yo fasil pou rive nan pwosesis kwasans lan nan gaufre SiC, men apre yo fin itilizeTaC, diferans lan enpòtan. Anba la a se yon konparezon nan wafers ak ak san TaC, osi byen ke pati Simicera 'pou kwasans yon sèl kristal.
Karakteristik prensipal yo nan bag gid TaC kouvwi grafit yo enkli:
1. Rezistans tanperati ki wo: TaC kouch gen ekselan estabilite tanperati ki wo epi li ka kenbe estabilite nan anviwònman tanperati ki wo.
2. Mete rezistans: Segondè dite nan kouch mens carbure Tantal la bay bag gid la bon rezistans mete ak pwolonje lavi sèvis li yo.
3. Estabilite chimik: TaC kouch gen estabilite segondè kont korozyon chimik, ki fè li apwopriye pou aplikasyon pou nan kèk medya korozivite.
4. Diminye friksyon: TaC kouch ka efektivman diminye friksyon ant bag gid grafit la ak lòt konpozan epi amelyore efikasite sele mekanik.
ak ak san TaC
Apre w fin itilize TaC (adwat)
Anplis, Semicera aTaC-kouvwi pwodwi yomontre yon lavi sèvis pi long ak pi gwo rezistans tanperati-wo konpare akSiC kouch.Mezi laboratwa yo te demontre ke nouTaC kouchka toujou fè nan tanperati jiska 2300 degre Sèlsiyis pou peryòd pwolonje. Anba a se kèk egzanp echantiyon nou yo:
