TaC kouvwi epitaxial wafer transpòtèyo anjeneral yo itilize nan preparasyon an nan segondè-pèfòmans aparèy optoelectronic, aparèy pouvwa, detèktè ak lòt jaden. Sa atranspòtè wafer epitaxialrefere a depozisyon an nanTaCfim mens sou substra a pandan pwosesis kwasans kristal pou fòme yon wafer ak estrikti espesifik ak pèfòmans pou preparasyon aparèy ki vin apre.
Teknoloji depo chimik vapè (CVD) anjeneral yo itilize pou prepareTaC kouvwi epitaxial wafer transpòtè. Lè yo reyaji metal òganik précurseurs ak gaz sous kabòn nan tanperati ki wo, yon fim TaC ka depoze sou sifas substrate kristal la. Fim sa a ka gen ekselan pwopriyete elektrik, optik ak mekanik epi li apwopriye pou preparasyon divès kalite aparèy segondè-pèfòmans.
Semicera bay penti espesyalize carbure Tantal (TaC) pou divès konpozan ak transpòtè.Pwosesis kouch dirijan Semicera pèmèt kouch carbure Tantal (TaC) reyalize pite segondè, estabilite tanperati ki wo ak tolerans chimik segondè, amelyore kalite pwodwi nan kristal SIC / GAN ak kouch EPI (Graphite kouvwi TaC susceptor), ak pwolonje lavi a nan eleman kle raktor yo. Itilizasyon Tantal carbure TaC kouch se rezoud pwoblèm nan kwen ak amelyore kalite kwasans kristal, ak Semicera te zouti rezoud teknoloji a kouch carbure Tantal (CVD), rive nan nivo entènasyonal avanse.
Apre ane nan devlopman, Semicera te konkeri teknoloji a nanCVD TaCak efò yo ansanm nan depatman R & D. Defo yo fasil pou rive nan pwosesis kwasans lan nan gaufre SiC, men apre yo fin itilizeTaC, diferans lan enpòtan. Anba la a se yon konparezon nan wafers ak ak san TaC, osi byen ke pati Simicera 'pou kwasans yon sèl kristal.
ak ak san TaC
Apre w fin itilize TaC (adwat)
Anplis, Semicera aTaC-kouvwi pwodwi yomontre yon lavi sèvis pi long ak pi gwo rezistans tanperati-wo konpare akSiC kouch.Mezi laboratwa yo te demontre ke nouTaC kouchka toujou fè nan tanperati jiska 2300 degre Sèlsiyis pou peryòd pwolonje. Anba a se kèk egzanp echantiyon nou yo:
