SiN Ceramics Plain Substrates Semicera a bay yon solisyon pèfòmans-wo pou yon varyete aplikasyon elektwonik ak endistriyèl. Li te ye pou ekselan konduktiviti tèmik yo ak fòs mekanik, substrats sa yo asire operasyon serye nan anviwònman ki mande.
Seramik SiN (Nitrur Silisyòm) nou yo fèt pou jere tanperati ekstrèm ak kondisyon ki gen anpil estrès, sa ki fè yo apwopriye pou elektwonik gwo pouvwa ak aparèy semi-conducteurs avanse. Dirab yo ak rezistans nan chòk tèmik fè yo ideyal pou itilize nan aplikasyon kote fyab ak pèfòmans yo kritik.
Pwosesis fabrikasyon presizyon Semicera asire ke chak substra plenn satisfè estanda kalite solid. Sa a rezilta nan substra ak epesè ki konsistan ak bon jan kalite sifas, ki esansyèl pou reyalize pèfòmans optimal nan asanble elektwonik ak sistèm.
Anplis de avantaj tèmik ak mekanik yo, SiN Ceramics Plain Substrates ofri ekselan pwopriyete izolasyon elektrik. Sa a asire minimòm entèferans elektrik ak kontribye nan estabilite an jeneral ak efikasite nan eleman elektwonik, amelyore lavi operasyonèl yo.
Lè w chwazi SiN Ceramics Plain Substrates Semicera a, w ap chwazi yon pwodwi ki konbine syans materyèl avanse ak fabrikasyon siperyè. Angajman nou an nan bon jan kalite ak inovasyon garanti ke ou resevwa substrats ki satisfè estanda endistri ki pi wo yo ak sipòte siksè nan pwojè teknoloji avanse ou yo.
Atik | Pwodiksyon | Rechèch | Enbesil |
Crystal Paramèt | |||
Politip | 4H | ||
Erè oryantasyon sifas | <11-20 > 4±0.15° | ||
Paramèt elektrik | |||
Dopan | n-tip Azòt | ||
Rezistivite | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramèt mekanik | |||
Dyamèt | 150.0±0.2mm | ||
Epesè | 350±25 μm | ||
Oryantasyon prensipal plat | [1-100]±5° | ||
Longè plat prensipal | 47.5±1.5mm | ||
Segondè plat | Okenn | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Defòme | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Devan (Si-fas) brutality (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Estrikti | |||
Dansite Micropipe | <1 chak/cm2 | <10 chak/cm2 | <15 chak/cm2 |
Enpurte metal | ≤5E10atòm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kalite devan | |||
Devan | Si | ||
Sifas fini | Si-fas CMP | ||
Patikil | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
Rayures | ≤5ea/mm. Kimilatif longè ≤Dyamèt | Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA |
Kale zoranj / twou / tach / striasyon / fant / kontaminasyon | Okenn | NA | |
Edge chips / endentasyon / ka zo kase / plak hex | Okenn | ||
Zòn politip yo | Okenn | Zòn kimilatif ≤20% | Zòn kimilatif ≤30% |
Devan lazè make | Okenn | ||
Retounen Kalite | |||
Retounen fini | C-fas CMP | ||
Rayures | ≤5ea/mm, Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA | |
Defo nan do (chips kwen / endentasyon) | Okenn | ||
Retounen brutality | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Retounen make lazè | 1 mm (soti nan kwen anwo) | ||
Edge | |||
Edge | Chanfrein | ||
Anbalaj | |||
Anbalaj | Epi-pare ak anbalaj vakyòm Anbalaj kasèt milti-wafer | ||
*Nòt: "NA" vle di pa gen okenn demann. Atik ki pa mansyone yo ka refere a SEMI-STD. |