Semizèprezante kalite siperyè li yoSi Epitaksisèvis, ki fèt pou satisfè nòm egzak endistri semi-conducteurs jodi a. Kouch Silisyòm Epitaxial yo enpòtan anpil pou pèfòmans ak fyab nan aparèy elektwonik, ak solisyon Si Epitaxy nou yo asire ke eleman ou yo reyalize fonksyonalite optimal.
Kouch Silisyòm ki grandi ak presizyon Semizèkonprann ke fondasyon an nan aparèy segondè-pèfòmans manti nan bon jan kalite a nan materyèl yo itilize yo. NouSi Epitaksise pwosesis metikuleu kontwole yo pwodwi kouch Silisyòm ak inifòmite eksepsyonèl ak entegrite kristal. Kouch sa yo esansyèl pou aplikasyon ki soti nan mikwo-elektwonik ak aparèy pouvwa avanse, kote konsistans ak fyab yo esansyèl.
Optimize pou pèfòmans aparèyLaSi Epitaksisèvis Semicera ofri yo pwepare pou amelyore pwopriyete elektrik aparèy ou yo. Lè nou grandi kouch Silisyòm pite ak dansite defo ki ba, nou asire ke eleman ou yo fè pi bon yo, ak amelyore mobilite konpayi asirans ak minimize rezistans elektrik. Optimize sa a enpòtan anpil pou reyalize karakteristik gwo vitès ak efikasite teknoloji modèn yo mande yo.
Versatility nan aplikasyon yo SemizèaSi Epitaksise apwopriye pou yon pakèt aplikasyon, ki gen ladan pwodiksyon an nan tranzistò CMOS, MOSFET pouvwa, ak tranzistò junction bipolè. Pwosesis fleksib nou an pèmèt pou personnalisation ki baze sou kondisyon espesifik nan pwojè ou a, si ou bezwen kouch mens pou aplikasyon pou wo-frekans oswa kouch pi epè pou aparèy pouvwa.
Kalite materyèl siperyèKalite se nan kè a nan tout sa nou fè nan Semicera. NouSi EpitaksiPwosesis itilize ekipman ak teknik dènye kri pou asire ke chak kouch Silisyòm satisfè pi wo estanda pite ak entegrite estriktirèl. Atansyon sa a sou detay minimize ensidan an nan domaj ki ta ka afekte pèfòmans aparèy, sa ki lakòz konpozan ki pi serye ak ki dire lontan.
Angajman pou Inovasyon Semizèse angaje nan rete nan forefront nan teknoloji semi-conducteurs. NouSi Epitaksisèvis yo reflete angajman sa a, enkòpore dènye pwogrè yo nan teknik kwasans epitaxial. Nou kontinyèlman rafine pwosesis nou yo pou delivre kouch Silisyòm ki satisfè bezwen en endistri a, asire ke pwodwi ou yo rete konpetitif nan mache a.
Solisyon Adapte pou Bezwen Ou yoKonprann ke chak pwojè inik,Semizèofri CustomizedSi Epitaksisolisyon pou matche ak bezwen espesifik ou yo. Kit ou bezwen pwofil dopan patikilye, epesè kouch, oswa fini sifas, ekip nou an ap travay kole kole avèk ou pou delivre yon pwodwi ki satisfè espesifikasyon egzak ou yo.
Atik | Pwodiksyon | Rechèch | Enbesil |
Crystal Paramèt | |||
Politip | 4H | ||
Erè oryantasyon sifas | <11-20 > 4±0.15° | ||
Paramèt elektrik | |||
Dopan | n-tip Azòt | ||
Rezistivite | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramèt mekanik | |||
Dyamèt | 150.0±0.2mm | ||
Epesè | 350±25 μm | ||
Oryantasyon prensipal plat | [1-100]±5° | ||
Longè plat prensipal | 47.5±1.5mm | ||
Segondè plat | Okenn | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Defòme | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Devan (Si-fas) brutality (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Estrikti | |||
Dansite Micropipe | <1 chak/cm2 | <10 chak/cm2 | <15 chak/cm2 |
Enpurte metal | ≤5E10atòm/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kalite devan | |||
Devan | Si | ||
Sifas fini | Si-fas CMP | ||
Patikil | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
Rayures | ≤5ea/mm. Kimilatif longè ≤Dyamèt | Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA |
Kale zoranj / twou / tach / striasyon / fant / kontaminasyon | Okenn | NA | |
Edge chips / endentasyon / ka zo kase / plak hex | Okenn | ||
Zòn politip yo | Okenn | Zòn kimilatif ≤20% | Zòn kimilatif ≤30% |
Devan lazè make | Okenn | ||
Retounen Kalite | |||
Retounen fini | C-fas CMP | ||
Rayures | ≤5ea/mm, Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA | |
Defo nan do (chips kwen / endentasyon) | Okenn | ||
Retounen brutality | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Retounen make lazè | 1 mm (soti nan kwen anwo) | ||
Edge | |||
Edge | Chanfrein | ||
Anbalaj | |||
Anbalaj | Epi-pare ak anbalaj vakyòm Anbalaj kasèt milti-wafer | ||
*Nòt: "NA" vle di pa gen okenn demann. Atik ki pa mansyone yo ka refere a SEMI-STD. |