Semizèkontan ofri aPFA kasèt, yon chwa prim pou manyen wafer nan anviwònman kote rezistans chimik ak rezistans yo esansyèl. Fèt nan materyèl ki gen pite Perfluoroalkoxy (PFA), kasèt sa a fèt pou kenbe tèt ak kondisyon ki pi egzijan nan fabwikasyon semi-conducteurs, asire sekirite ak entegrite wafers ou yo.
Rezistans chimik san parèyLaPFA kasètse Enjenieri bay rezistans siperyè nan yon pakèt pwodwi chimik, fè li chwa pafè a pou pwosesis ki enplike asid agresif, Solvang, ak lòt pwodwi chimik piman bouk. Rezistans chimik solid sa a asire ke kasèt la rete entak ak fonksyonèl menm nan anviwònman ki pi korozif, kidonk pwolonje lavi li epi redwi bezwen pou ranplasman souvan.
Konstriksyon pite segondèSemizè aPFA kasètse fabrike nan materyèl PFA ultra-pi, ki se kritik nan anpeche kontaminasyon pandan pwosesis wafer. Konstriksyon pite segondè sa a minimize risk pou jenerasyon patikil ak lesivaj chimik, asire ke wafers ou yo pwoteje kont enpurte ki ta ka konpwomèt bon jan kalite yo.
Ogmante durability ak pèfòmansKi fèt pou durability, laPFA kasètkenbe entegrite estriktirèl li anba tanperati ekstrèm ak kondisyon pwosesis solid. Kit ekspoze a tanperati ki wo oswa sibi manyen repete, kasèt sa a kenbe fòm li yo ak pèfòmans, ofri fyab alontèm nan anviwònman fabrikasyon ki mande.
Jeni presizyon pou manyen an sekiriteLaSemicera PFA kasètkarakteristik jeni egzak ki asire sekirite ak ki estab manyen wafer. Chak plas fèt ak anpil atansyon pou kenbe wafers an sekirite an plas, anpeche nenpòt mouvman oswa chanjman ki ta ka lakòz domaj. Jeni presizyon sa a sipòte plasman wafer ki konsistan ak egzat, kontribye nan efikasite pwosesis jeneral.
Aplikasyon versatile atravè pwosesisMèsi a pwopriyete siperyè materyèl li yo, laPFA kasètse versatile ase yo dwe itilize atravè plizyè etap nan fabrikasyon semi-conducteurs. Li se patikilyèman byen adapte pou grave mouye, depo chimik vapè (CVD), ak lòt pwosesis ki enplike anviwònman chimik piman bouk. Adaptabilite li fè li yon zouti esansyèl nan kenbe entegrite pwosesis ak bon jan kalite wafer.
Angajman pou Kalite ak InovasyonNan Semicera, nou pran angajman bay pwodwi ki satisfè pi wo estanda endistri yo. LaPFA kasètEgzanp angajman sa a, ofri yon solisyon serye ki entegre san pwoblèm nan pwosesis fabrikasyon ou yo. Chak kasèt sibi kontwòl kalite strik pou asire ke li satisfè kritè pèfòmans solid nou yo, bay ekselans ou espere nan Semicera.
| Atik | Pwodiksyon | Rechèch | Enbesil |
| Crystal Paramèt | |||
| Politip | 4H | ||
| Erè oryantasyon sifas | <11-20 > 4±0.15° | ||
| Paramèt elektrik | |||
| Dopan | n-tip Azòt | ||
| Rezistivite | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramèt mekanik | |||
| Dyamèt | 150.0±0.2mm | ||
| Epesè | 350±25 μm | ||
| Oryantasyon prensipal plat | [1-100]±5° | ||
| Longè plat prensipal | 47.5±1.5mm | ||
| Segondè plat | Okenn | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Bow | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Defòme | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Devan (Si-fas) brutality (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Estrikti | |||
| Dansite Micropipe | <1 chak/cm2 | <10 chak/cm2 | <15 chak/cm2 |
| Enpurte metal | ≤5E10atòm/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kalite devan | |||
| Devan | Si | ||
| Sifas fini | Si-fas CMP | ||
| Patikil | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| Rayures | ≤5ea/mm. Kimilatif longè ≤Dyamèt | Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA |
| Kale zoranj / twou / tach / striasyon / fant / kontaminasyon | Okenn | NA | |
| Edge chips / endentasyon / ka zo kase / plak hex | Okenn | ||
| Zòn politip yo | Okenn | Zòn kimilatif ≤20% | Zòn kimilatif ≤30% |
| Devan lazè make | Okenn | ||
| Retounen Kalite | |||
| Retounen fini | C-fas CMP | ||
| Rayures | ≤5ea/mm, Kimilatif longè≤2 * Dyamèt | NA | |
| Defo nan do (chips kwen / endentasyon) | Okenn | ||
| Retounen brutality | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Retounen make lazè | 1 mm (soti nan kwen anwo) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chanfrein | ||
| Anbalaj | |||
| Anbalaj | Epi-pare ak anbalaj vakyòm Anbalaj kasèt milti-wafer | ||
| *Nòt: "NA" vle di pa gen okenn demann. Atik ki pa mansyone yo ka refere a SEMI-STD. | |||
