LaMOCVDmetòd se youn nan pwosesis yo ki pi estab kounye a yo itilize nan endistri a grandi kalite siperyè fim mens kristal sèl, tankou yon sèl faz InGaN epilayers, III-N materyèl, ak fim semi-conducteurs ak estrikti milti pwopòsyon byen, epi li se nan gwo siyifikasyon nan la. fabrikasyon semi-conducteurs ak aparèy optoelektwonik.
LaSiC kouch MOCVD susceptorse yon detantè wafer espesyalize kouvwi ak carbure Silisyòm (SiC) pouepitaksyal kwasans nan pwosesis depo metal òganik chimik vapè (MOCVD).
Kouch SiC a gen ekselan rezistans chimik ak estabilite tèmik, sa ki fè li se yon chwa ideyal pou susceptor MOCVD yo itilize nan pwosesis kwasans epitaksial ki mande.
Yon eleman kle nan pwosesis MOCVD la se susceptor la, ki se yon eleman kle pou asire inifòmite ak bon jan kalite fim mens ki pwodui yo.
Ki sa ki se yon susceptor? Susceptor la se yon eleman espesyalize ki itilize nan pwosesis MOCVD pou sipòte ak chofe substra kote fim mens la depoze. Li gen plizyè fonksyon, ki gen ladan absòbe enèji elektwomayetik, konvèti li nan chalè, ak respire distribye chalè a sou substra a. Chofaj inifòm sa a esansyèl pou kwasans fim inifòm mens ak epesè egzak ak konpozisyon.
Kalite sispèktè yo:
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors yo souvan kouvwi ak yon kouch pwoteksyon tankoucarbure Silisyòm (SiC), ki se li te ye pou konduktiviti segondè tèmik li yo ak estabilite. LaSiC kouchbay yon sifas ki difisil, pwoteksyon ki reziste korozyon ak degradasyon nan tanperati ki wo.
2. Silisyòm carbure (SiC) susceptors: Susceptors sa yo fèt antyèman nan SiC epi yo gen ekselan estabilite tèmik ak rezistans mete. Susceptor SiC yo patikilyèman apwopriye pou pwosesis tanperati ki wo ak anviwònman korozivite.
Ki jan susceptor yo travay nan MOCVD:
Nan pwosesis MOCVD, précurseurs yo prezante nan chanm reyaksyon an kote yo dekonpoze ak reyaji pou fòme yon fim mens sou substra a. Susceptor la jwe yon wòl enpòtan anpil lè li asire ke substra a chofe respire, sa ki enpòtan pou reyalize pwopriyete fim ki konsistan sou tout sifas substra a. Materyèl ak konsepsyon susceptor la ak anpil atansyon chwazi pou satisfè kondisyon espesifik pwosesis depo a, tankou ranje tanperati ak konpatibilite chimik.
Avantaj lè w sèvi ak bon jan kalite susceptor:
• Bon jan kalite fim amelyore: Lè yo bay distribisyon chalè inifòm, susceptor la ede reyalize fim ak epesè ak konpozisyon ki konsistan, ki se kritik nan pèfòmans nan aparèy semi-conducteurs.
• Amelyore efikasite pwosesis: Sisseptè bon jan kalite ogmante efikasite an jeneral nan pwosesis MOCVD la lè yo diminye chans pou domaj ak ogmante sede nan fim ka itilize.
• Vite ak fyab: Susceptors ki fèt ak materyèl dirab tankou SiC asire fyab alontèm epi redwi depans antretyen.
Susceptor la se yon eleman entegral nan pwosesis MOCVD la epi li afekte dirèkteman bon jan kalite ak efikasite nan depo fim mens. Pou plis enfòmasyon sou gwosè disponib, MOCVD susceptors ak pri, tanpri pa ezite kontakte nou. Enjenyè nou yo pral kontan ba w konsèy sou materyèl apwopriye epi reponn tout kesyon ou yo.
Telefòn: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Tan pòs: Out-12-2024