Ki sa ki kwasans epitaksyal?

Epitaxial kwasans se yon teknoloji ki grandi yon sèl kristal kouch sou yon sèl kristal substra (substra) ak oryantasyon an kristal menm jan ak substra a, kòm si kristal orijinal la te pwolonje deyò.Sa a ki fèk grandi kouch kristal sèl ka diferan de substra a an tèm de kalite konduktivite, rezistivite, elatriye, epi li ka grandi milti-kouch kristal sèl ak epesè diferan ak diferan kondisyon, kidonk anpil amelyore fleksibilite nan konsepsyon aparèy ak pèfòmans aparèy.Anplis de sa, pwosesis epitaxial la tou lajman itilize nan teknoloji izolasyon PN junction nan sikui entegre ak nan amelyore kalite materyèl nan gwo echèl sikwi entegre.

Se klasifikasyon nan epitaksi sitou ki baze sou konpozisyon chimik diferan nan substra a ak kouch epitaksi ak metòd yo kwasans diferan.
Dapre diferan konpozisyon chimik, kwasans epitaxial ka divize an de kalite:

1. Homoepitaxial: Nan ka sa a, kouch epitaxial la gen menm konpozisyon chimik ak substra a.Pou egzanp, kouch epitaxial Silisyòm yo grandi dirèkteman sou substrats Silisyòm.

2. Heteroepitaxy: Isit la, konpozisyon chimik kouch epitaxial la diferan de sa ki nan substra a.Pou egzanp, yon kouch epitaxial nitrure galyòm grandi sou yon substra safi.

Dapre metòd kwasans diferan, teknoloji kwasans epitaxial kapab tou divize an divès kalite:

1. Epitaksi molekilè gwo bout bwa (MBE): Sa a se yon teknoloji pou grandi fim mens kristal sèl sou substrats kristal sèl, ki se reyalize pa jisteman kontwole to a koule molekilè gwo bout bwa ak dansite gwo bout bwa nan vakyòm ultra-segondè.

2. Depozisyon chimik metal-òganik vapè (MOCVD): Teknoloji sa a itilize konpoze metal-òganik ak reyaktif gaz-faz pou fè reyaksyon chimik nan tanperati ki wo pou jenere materyèl fim mens ki nesesè yo.Li gen aplikasyon lajè nan preparasyon materyèl semi-conducteurs konpoze ak aparèy.

3. Epitaxy faz likid (LPE): Lè yo ajoute materyèl likid nan yon sèl substra kristal ak fè tretman chalè nan yon sèten tanperati, materyèl likid la kristalize yo fòme yon fim kristal sèl.Fim yo prepare pa teknoloji sa a yo lasi-matche ak substra a epi yo souvan itilize yo prepare materyèl semi-kondiktè konpoze ak aparèy.

4. Vapè faz epitaksi (VPE): Itilize reyaktif gaz pou fè reyaksyon chimik nan tanperati ki wo pou jenere materyèl fim mens ki nesesè yo.Teknoloji sa a se apwopriye pou prepare gwo-zòn, fim-wo kalite kristal sèl, epi li se espesyalman eksepsyonèl nan preparasyon an nan materyèl semi-conducteurs konpoze ak aparèy.

5. Chimik epitaksi gwo bout bwa (CBE): Teknoloji sa a sèvi ak travès chimik yo grandi fim kristal sèl sou substrats kristal sèl, ki se reyalize pa jisteman kontwole to a koule chimik gwo bout bwa ak dansite gwo bout bwa.Li gen aplikasyon lajè nan preparasyon an nan fim-wo kalite kristal sèl mens.

6. Epitaksi kouch atomik (ALE): Sèvi ak teknoloji depo kouch atomik, materyèl fim mens obligatwa yo depoze kouch pa kouch sou yon sèl substra kristal.Teknoloji sa a ka prepare fim kristal gwo-wo kalite, epi li souvan itilize pou prepare materyèl semi-conducteurs konpoze ak aparèy.

7. Hot miray epitaksi (HWE): Atravè chofaj segondè-tanperati, reyaktif gaz yo depoze sou yon substra kristal sèl pou fòme yon fim kristal sèl.Teknoloji sa a apwopriye tou pou prepare fim kristal sèl ak gwo-wo kalite, epi li espesyalman itilize nan preparasyon materyèl semi-conducteurs konpoze ak aparèy.