Endistri semi-conducteurs se temwen kwasans san parèy, espesyalman nan domèn nancarbure Silisyòm (SiC)pouvwa elektwonik. Avèk anpil gwo-echèlwaferfabs sibi konstriksyon oswa ekspansyon pou satisfè demann lan monte pou aparèy SiC nan machin elektrik, boom sa a prezante opòtinite remakab pou kwasans pwofi. Sepandan, li tou pote soti defi inik ki mande solisyon inovatè.
Nan kè a nan ogmante pwodiksyon mondyal chip SiC manti fabrikasyon an nan bon jan kalite kristal SiC, wafers, ak kouch epitaxial. Isit la,grafit semi-kondiktè-klasmateryèl jwe yon wòl esansyèl, fasilite kwasans kristal SiC ak depo kouch epitaxial SiC. Graphite a izolasyon tèmik ak inertness fè li yon materyèl pi pito, anpil itilize nan kreze, pedestal, disk planetè, ak satelit nan kwasans kristal ak sistèm epitaksi. Men, kondisyon pwosesis piman bouk yo poze yon defi enpòtan, ki mennen nan degradasyon rapid nan eleman grafit ak imedyatman anpeche pwodiksyon an nan kristal SiC kalite siperyè ak kouch epitaxial.
Pwodiksyon kristal carbure Silisyòm enplike kondisyon pwosesis trè difisil, ki gen ladan tanperati ki depase 2000 ° C ak sibstans gaz ki trè korozivite. Sa a souvan rezilta nan korozyon konplè nan kreze grafit apre plizyè sik pwosesis, kidonk ogmante pri pwodiksyon an. Anplis de sa, kondisyon piman bouk yo chanje pwopriyete sifas konpozan grafit, konpwomèt repetibilite ak estabilite nan pwosesis pwodiksyon an.
Pou konbat defi sa yo efektivman, teknoloji kouch pwoteksyon te parèt kòm yon chanjman jwèt. Kouch pwoteksyon ki baze soucarbure Tantal (TaC)yo te prezante pou adrese pwoblèm degradasyon eleman grafit ak mank ekipman pou grafit. Materyèl TaC montre yon tanperati k ap fonn ki depase 3800 ° C ak rezistans chimik eksepsyonèl. Swiv teknoloji depo chimik vapè (CVD),TaC kouchak yon epesè ki rive jiska 35 milimèt ka depoze san pwoblèm sou konpozan grafit. Kouch pwoteksyon sa a pa sèlman amelyore estabilite materyèl, men tou siyifikativman pwolonje lavi konpozan grafit, kidonk diminye depans pwodiksyon ak amelyore efikasite operasyonèl.
Semicera, yon founisè dirijan nanTaC kouch, ki te enstrimantal nan revolisyon endistri semi-conducteurs. Avèk teknoloji dènye kri li yo ak angajman enkondisyonèl nan bon jan kalite, Semicera te pèmèt manifaktirè semi-conducteurs simonte defi kritik ak reyalize nouvo wotè nan siksè. Lè yo ofri TaC kouch ak pèfòmans san parèy ak fyab, Semicera te simante pozisyon li kòm yon patnè ou fè konfyans pou konpayi semi-conducteurs atravè lemond.
An konklizyon, teknoloji kouch pwoteksyon, patrone pa inovasyon tankouTaC kouchsoti nan Semicera, ap remode jaden flè semi-conducteurs ak pave wout la pou yon avni ki pi efikas ak dirab.
Lè poste: Me-16-2024