Fen devan liy pwodiksyon an se tankou mete fondasyon an ak bati mi yo nan yon kay. Nan manifakti semi-conducteurs, etap sa a enplike nan kreye estrikti debaz yo ak tranzistò sou yon wafer Silisyòm.
Etap kle nan FEOL:
1. Netwayaj:Kòmanse ak yon wafer mens Silisyòm epi netwaye li pou retire nenpòt enpurte.
2. Oksidasyon:Fè yon kouch diyoksid Silisyòm sou wafer la pou izole diferan pati nan chip la.
3. Fotolitografi:Sèvi ak fotolitografi pou grave modèl sou wafer la, ki sanble ak trase plan ak limyè.
4. Gravure:Etch lwen diyoksid Silisyòm vle revele modèl yo vle.
5. Dopaj:Entwodwi enpurte nan Silisyòm nan chanje pwopriyete elektrik li yo, kreye tranzistò, blòk yo bilding fondamantal nan nenpòt chip.
Mid End of Line (MEOL): Konekte pwen yo
Fen mitan liy pwodiksyon an se tankou enstale fil elektrik ak plonbri nan yon kay. Etap sa a konsantre sou etabli koneksyon ant tranzistò yo ki te kreye nan etap FEOL la.
Etap kle nan MEOL:
1. Depo Dielectric:Depoze kouch izolasyon (yo rele dielectrics) pou pwoteje tranzistò yo.
2. Fòmasyon kontak:Fòm kontak yo konekte tranzistò yo youn ak lòt ak mond lan deyò.
3. Entèkonekte:Ajoute kouch metal yo kreye chemen pou siyal elektrik, menm jan ak fil elektrik yon kay asire pouvwa san pwoblèm ak koule done.
Retounen Fen liy (BEOL): Finiting Touches
-
Dèyè liy pwodiksyon an se tankou ajoute dènye manyen yo nan yon kay-enstale enstalasyon, penti, epi asire tout bagay mache. Nan fabrikasyon semi-conducteurs, etap sa a enplike nan ajoute kouch final yo ak prepare chip la pou anbalaj.
Etap kle nan BEOL:
1. Lòt kouch metal:Ajoute plizyè kouch metal pou amelyore entèkoneksyon, asire chip la ka okipe travay konplèks ak gwo vitès.
2. pasivasyon:Aplike kouch pwoteksyon pou pwoteje chip la kont domaj anviwònman an.
3. Tès:Simèt chip la nan tès solid pou asire ke li satisfè tout espesifikasyon yo.
4. Dicing:Koupe wafer la nan bato endividyèl yo, yo chak pare pou anbalaj ak itilize nan aparèy elektwonik.
Lè poste: 08-Jul-2024