Ki sa ki CVD SiC?
Depo chimik vapè (CVD) se yon pwosesis depo vakyòm ki itilize pou pwodui materyèl solid ki gen pite. Pwosesis sa a souvan itilize nan jaden an fabrikasyon semi-conducteurs yo fòme fim mens sou sifas la nan wafers. Nan pwosesis pou prepare SiC pa CVD, substra a ekspoze a youn oswa plizyè précurseur temèt, ki reyaji chimikman sou sifas substra a pou depoze depo SiC vle a. Pami metòd yo anpil pou prepare materyèl SiC, pwodwi yo prepare pa depo chimik vapè gen gwo inifòmite ak pite, ak metòd la gen kontwòl fò pwosesis.
Materyèl CVD SiC yo trè apwopriye pou itilize nan endistri semi-conducteurs ki mande pou materyèl segondè-pèfòmans paske nan konbinezon inik yo nan ekselan pwopriyete tèmik, elektrik ak chimik. Eleman CVD SiC yo lajman ki itilize nan ekipman grave, ekipman MOCVD, ekipman epitaxial Si ak ekipman epitaxial SiC, ekipman pwosesis rapid tèmik ak lòt jaden.
An jeneral, pi gwo segman sou mache a nan eleman CVD SiC se konpozan ekipman grave. Akòz reyaksyon ki ba li yo ak konduktiviti nan gaz grave klò ak fliyò, CVD silikon carbure se yon materyèl ideyal pou konpozan tankou bag konsantre nan ekipman grave plasma.
Eleman CVD carbure Silisyòm nan ekipman grave yo enkli bag konsantre, tèt douch gaz, plato, bag kwen, elatriye Pran bag la konsantre kòm yon egzanp, bag la konsantre se yon eleman enpòtan mete deyò wafer la ak dirèkteman an kontak ak wafer la. Lè w aplike vòltaj nan bag la pou konsantre plasma a pase nan bag la, plasma a konsantre sou wafer la pou amelyore inifòmite nan pwosesis.
Bag konsantre tradisyonèl yo te fè nan Silisyòm oswa kwatz. Avèk avansman miniaturizasyon sikwi entegre, demann ak enpòtans pwosesis grave nan fabrikasyon sikwi entegre yo ap ogmante, epi pouvwa ak enèji plasma grav kontinye ap ogmante. An patikilye, enèji ikid ki nan san ki te egzije nan kapasite makonnen (CCP) plasma gravure ekipman pi wo, se konsa yo ki te konn sèvi ak bag konsantre ki fèt ak materyèl carbure Silisyòm ap ogmante. Dyagram nan chema nan bag konsantre CVD Silisyòm carbure yo montre anba a:
Tan poste: Jun-20-2024