Rezon prensipal ki afekte inifòmite rezistivite radial kristal sèl yo se platite koòdone solid-likid la ak efè ti avyon pandan kwasans kristal.
Enfliyans platite nan koòdone solid-likid Pandan kwasans kristal, si fizyon an brase respire, sifas rezistans egal a se koòdone solid-likid (konsantrasyon enpurte nan fonn lan diferan de konsantrasyon enpurte nan kristal la, kidonk rezistans a diferan, ak rezistans a egal sèlman nan koòdone solid-likid). Lè malpwòpte K <1, koòdone konvèks pou fonn ap lakòz radial résistivité a wo nan mitan an ak ba nan kwen an, pandan y ap koòdone konkav la fonn se opoze a. Inifòmite rezistivite radial nan koòdone plat solid-likid la pi bon. Fòm nan koòdone solid-likid pandan kristal rale detèmine pa faktè tankou distribisyon an tèmik jaden ak paramèt operasyon kwasans kristal. Nan yon sèl kristal dwat-rale, fòm nan sifas solid-likid la se rezilta nan efè konbine nan faktè tankou distribisyon tanperati founo ak dissipation chalè kristal.
Lè w ap rale kristal, gen kat kalite prensipal echanj chalè nan koòdone solid-likid:
Chalè inaktif nan chanjman faz lage pa solidifikasyon Silisyòm fonn
Kondiksyon chalè nan fonn lan
Chalè kondiksyon anlè atravè kristal la
Radyasyon chalè deyò nan kristal la
Chalè inaktif la inifòm pou koòdone tout antye, ak gwosè li pa chanje lè to kwasans lan konstan. (Vit kondiksyon chalè, refwadisman vit, ak ogmantasyon pousantaj solidifikasyon)
Lè tèt la nan kristal la k ap grandi se fèmen nan baton an kristal grenn refwadi dlo nan gwo fou a kristal sèl, gradyan tanperati a nan kristal la se gwo, sa ki fè kondiksyon nan chalè longitudinal nan kristal la pi gran pase chalè a radyasyon sifas, kidonk la koòdone solid-likid konvèks nan fonn lan.
Lè kristal la grandi nan mitan an, kondiksyon chalè longitudinal egal a chalè radyasyon sifas, kidonk koòdone a dwat.
Nan ke kristal la, kondiksyon chalè longitudinal la se mwens pase chalè radyasyon sifas la, ki fè koòdone solid-likid la konkav nan fonn lan.
Yo nan lòd yo jwenn yon kristal sèl ak inifòm rezistivite radial, koòdone solid-likid la dwe nivo.
Metòd yo itilize yo se: ①Ajiste sistèm tèmik kwasans kristal la pou diminye gradyan tanperati radial jaden tèmik la.
②Ajiste paramèt operasyon rale kristal yo. Pou egzanp, pou yon koòdone konvèks nan fonn lan, ogmante vitès la rale ogmante vitès la solidifikasyon kristal. Nan tan sa a, akòz ogmantasyon nan kristalizasyon chalè inaktif la lage sou koòdone a, tanperati a fonn tou pre koòdone a ogmante, sa ki lakòz k ap fonn yon pati nan kristal la nan koòdone a, fè koòdone a plat. Okontrè, si koòdone kwasans lan se konkav nan direksyon fonn lan, to kwasans lan ka redwi, epi fonn lan ap solidifye yon volim korespondan, fè koòdone kwasans lan plat.
③ Ajiste vitès wotasyon kristal la oswa kreze. Ogmante vitès wotasyon kristal la ap ogmante koule likid wo-tanperati k ap deplase anba nan tèt nan koòdone solid-likid, sa ki fè koòdone a chanje soti nan konvèks a konkav. Direksyon koule likid la ki te koze pa wotasyon kreze a se menm jan ak konveksyon natirèl la, ak efè a konplètman opoze ak wotasyon kristal la.
④ Ogmante rapò a nan dyamèt enteryè a nan kreze a ak dyamèt la nan kristal la pral plati koòdone nan solid-likid, epi li ka tou redwi dansite a debwatman ak kontni an oksijèn nan kristal la. Anjeneral, dyamèt creuze a: dyamèt kristal = 3 ~ 2.5:1.
Enfliyans efè ti avyon an
Se koòdone nan solid-likid nan kwasans kristal souvan koube akòz limit la nan izotèm nan fonn nan crucible a. Si kristal la leve byen vit pandan kwasans kristal, yon ti plan plat ap parèt nan koòdone solid-likid nan (111) germanium ak Silisyòm kristal sèl. Li se (111) atomik fèmen-chaje avyon an, anjeneral yo rele yon ti avyon.
Konsantrasyon enpurte nan zòn ti avyon an trè diferan de sa ki nan zòn ki pa ti avyon an. Fenomèn sa a nan distribisyon nòmal nan enpurte nan zòn nan ti avyon yo rele efè a ti avyon.
Akòz efè a ti avyon, rezistivite nan zòn nan ti avyon ap diminye, ak nan ka grav, nwayo tiyo enpurte ap parèt. Yo nan lòd yo elimine inhomogeneity a rezistivite radial ki te koze pa efè a ti avyon, koòdone solid-likid la bezwen nivelman.
Byenveni nenpòt kliyan soti nan tout mond lan vizite nou pou yon diskisyon plis!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Tan pòs: 24 jiyè 2024