Semicera bay penti espesyalize carbure Tantal (TaC) pou divès konpozan ak transpòtè.Pwosesis kouch dirijan Semicera pèmèt kouch carbure Tantal (TaC) reyalize pite segondè, estabilite tanperati ki wo ak tolerans chimik segondè, amelyore kalite pwodwi nan kristal SIC / GAN ak kouch EPI (Graphite kouvwi TaC susceptor), ak pwolonje lavi a nan eleman kle raktor yo.Itilizasyon Tantal carbure TaC kouch se rezoud pwoblèm nan kwen ak amelyore kalite kwasans kristal, ak Semicera te zouti rezoud teknoloji a kouch carbure Tantal (CVD), rive nan nivo entènasyonal avanse.
Ak avenman 8-pous Silisyòm Carbide (SiC) wafers, kondisyon yo pou divès pwosesis semi-conducteurs yo te vin de pli zan pli sevè, espesyalman pou pwosesis epitaksi kote tanperati ka depase 2000 degre Sèlsiyis.Materyèl susceptor tradisyonèl yo, tankou grafit kouvwi ak carbure Silisyòm, yo gen tandans sublime nan tanperati sa yo ki wo, deranje pwosesis la epitaksi.Sepandan, CVD Tantal carbure (TaC) efektivman adrese pwoblèm sa a, kenbe tèt ak tanperati jiska 2300 degre Sèlsiyis epi ofri yon lavi sèvis ki pi long.Kontakte Semicera's CVD Tantal Carbide kouvwi anwo Halfmoonpou eksplore plis sou solisyon avanse nou yo.
Apre ane nan devlopman, Semicera te konkeri teknoloji a nanCVD TaCak efò yo ansanm nan depatman R & D.Defo yo fasil pou rive nan pwosesis kwasans lan nan gaufre SiC, men apre yo fin itilizeTaC, diferans lan enpòtan.Anba la a se yon konparezon nan wafers ak ak san TaC, osi byen ke pati Simicera 'pou kwasans yon sèl kristal.
ak ak san TaC
Apre w fin itilize TaC (adwat)
Anplis, Semicera aTaC-kouvwi pwodwi yomontre yon lavi sèvis pi long ak pi gwo rezistans tanperati-wo konpare akSiC kouch.Mezi laboratwa yo te demontre ke nouTaC kouchka toujou fè nan tanperati jiska 2300 degre Sèlsiyis pou peryòd pwolonje.Anba a se kèk egzanp echantiyon nou yo:
TaC kouvwi susceptor
Graphite ak TaC kouvwi réacteurs
