RTPCVD SiC bagyo lajman ki itilize nan jaden endistriyèl ak syantifik nan tanperati ki wo ak anviwònman korozivite. Li jwe yon wòl enpòtan nan fabrikasyon semi-conducteurs, optoelektronik, machin presizyon ak endistri chimik. Aplikasyon espesifik yo enkli:
1. Semiconductor manifakti:RTP CVD SiC bagka itilize pou chofaj ak refwadisman ekipman semi-conducteurs, bay kontwòl tanperati ki estab ak asire presizyon ak konsistans nan pwosesis la.
2. Optoelectronics: Akòz ekselan konduktiviti tèmik li yo ak rezistans tanperati ki wo, RTPCVD SiC bagka itilize kòm materyèl sipò ak chalè dissipation pou lazè, ekipman kominikasyon fib optik ak konpozan optik.
3. Precision machin: RTP CVD SiC bag yo ka itilize pou enstriman presizyon ak ekipman nan tanperati ki wo ak anviwònman korozivite, tankou gwo founo tanperati, aparèy vakyòm ak réacteurs chimik.
4. Endistri chimik: Akòz rezistans korozyon li yo ak estabilite chimik, bag RTP CVD SiC yo ka itilize nan resipyan, tiyo ak réacteurs nan reyaksyon chimik ak pwosesis katalitik.
Sistèm Epi
Sistèm RTP
Sistèm CVD
Pèfòmans pwodwi:
1. Rankontre pwosesis ki anba a 28nm
2. Super kowozyon rezistans
3. Super pwòp pèfòmans
4. Super dite
5. Segondè dansite
6. Rezistans tanperati ki wo
7. Mete rezistans
Aplikasyon pwodwi:
Materyèl carbure Silisyòm gen karakteristik segondè dite, rezistans mete, rezistans korozyon ak estabilite tanperati ki wo. Pwodwi ak ekselan pèfòmans konplè yo lajman ki itilize nan grave sèk ak pwosesis TF / Difizyon.
Pèfòmans pwodwi:
1. Rankontre pwosesis ki anba a 28nm
2. Super kowozyon rezistans
3. Super pwòp pèfòmans
4. Super dite
5. Segondè dansite
6. Rezistans tanperati ki wo
7. Mete rezistans
Devlopman pwosesis konpoze:
Graphite + Sic kouch
Solide CvD sic
Sintered SiC + CVD
SicSintered SiC
Plizyè kalite pwodwi devlopman:
Ring
Tablo
Susceptor
Tèt douch